半導体製造装置部品

超精密静圧空気スピンドルブッシュ (Spindle Bushing)|PCBマイクロドリル加工機専用

製品特長
• 特殊な空冷・エア導流設計:独自の斜めエアスリット設計により、高圧空気を完璧に誘導し、安定した浮上と効率的な切りくず排出・放熱を実現。
• 高剛性オートアライメント:極めて精密なテーパー設計により、高速回転時の主軸の振れ(ランアウト)を効果的に低減。
• 超精密鏡面仕上げ:気密性とエア浮力の均一性を最大化。
• 高度な複合加工技術:5軸CNCマシニングとミクロン精度のセンタレス研削を組み合わせ、極めて厳しい幾何公差を保証。

製品紹介

PCB高速ドリル加工機向けに設計された静圧空気スピンドルブッシュ。超精密なエア導流溝を備え、摩擦ゼロ・低熱変位の超高速支持を提供し、マイクロドリル加工の精度と主軸寿命を大幅に向上させます。
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  • 厳選された材質:高級ステンレス鋼 (SUS440C) / 高炭素クロム軸受鋼 (SUJ2) / クロムモリブデン鋼 (SCM)。※DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングのオプション対応可能。
  • 適用分野:PCB高速マイクロドリル加工機(10万〜30万RPM以上の主軸)、半導体ダイシング・パッケージング装置、超精密金型加工機。
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